TY  - BOOK
AU  - Gordon,Shigeru E.
TI  - Plasma nanoengineering and nanofabrication
SN  - 9781682517857
AV  - TA418.9N35 P526
PY  - 2021///
CY  - New Rochelle, New York
PB  - Intelliz Press
KW  - Nanofabricación
KW  - Materiales nanoestructurados
ER  -