TY  - BOOK
AU  - Runyan, W. R.,
AU  - Bean, Kenneth E.,
TI  - Semiconductor integrated circuit processing technology
SN  - 0-201-10831-3
AV  - TK7874 R85
PY  - 1990///
CY  - Reading, massachusetts
PB  - Addison-wesley
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Circuitos integrados
ER  -