TY  - BOOK
AU  - Suntola, T.
AU  - Simpson, M.
TI  - Atomic layer epitaxy
SN  - 0412020114
AV  - QC176.9M84 A76
PY  - 1990///
CY  - Glasgow
PB  - Blackie
KW  - Películas delgadas en multicapa
KW  - Técnica
KW  - Epitaxia
KW  - Estructuras en capas (Sólidos)
KW  - Química de superficies
ER  -