Microlithography :  science and technology / 
edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith. 
 - 2nd ed. 
 - 848 páginas :  ilustraciones 
 - Optical science and engineering ;  126 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9780824790240 (papel alcalino) 0824790243 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microlitografía--Aplicaciones industriales<br/>Circuitos integrados--Máscaras<br/>Semiconductores complementarios de óxido metálico--Diseño y construcción<br/>Procesos de manufactura
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7836  / M534 2007 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/31