TY  - BOOK
AU  - Suzuki,Kazuhiro
AU  - Smith,Bruce W.
TI  - Microlithography: science and technology 
T2  - Optical science and engineering
SN  - 9780824790240 (papel alcalino)
AV  - TK7836 M534 2007
U1  - 621.3815/31 22
PY  - 2007///
CY  - Boca Ratón, Florida
PB  - CRC Press
KW  - Microlitografía
KW  - Aplicaciones industriales
KW  - Circuitos integrados
KW  - Máscaras
KW  - Semiconductores complementarios de óxido metálico
KW  - Diseño y construcción
KW  - Procesos de manufactura
ER  -