Enabling technology for MEMS and nanodevices / 
H. Baltes, O. Brand, G.K. Fedder, C. Hierold, J.G. Korvink, O. Tabata (eds.) 
 - xii, 427 páginas :  ilustraciones 
 - Advanced micro & nanosystems ;  v. 1 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>9783527334988 9783527675043 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos<br/>Microelectrónica<br/>Nanotecnología
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / E59