TY  - BOOK
AU  - Baltes,Henry
AU  - Brand,Oliver
AU  - Fedder,G.K.
AU  - Hierold,C.
AU  - Korvink,J.G.
AU  - Tabata,Osamu
TI  - Enabling technology for MEMS and nanodevices
T2  - Advanced micro & nanosystems
SN  - 9783527334988
AV  - TK7875 E59
PY  - 2013///
CY  - Weinheim
PB  - Wiley-VCH
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Microelectrónica
KW  - Nanotecnología
ER  -