Microelectromechanical systems--materials and devices IV : symposium held november 29-December 3, [2010], Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, Frank W. DelRio [y otros tres]
Tipo de material: TextoSeries Materials Research Society symposium proceedings ; v. 1299Editor: Warrendale, Pennsylvania : New York, New York : Materials Research Society ; Cambridge University Press, 2011Descripción: ix, 207 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781605112763; 1605112763Tema(s): Sistemas microelectromecánicos -- Materiales -- Congresos | Sistemas microelectromecánicos -- Congresos | Películas delgadas -- Congresos | Materiales nanoestructurados -- Congresos | Silicio -- CongresosClasificación LoC:TK5 | S95Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros | Libros Libros | General | TK5 S95 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 196519 |
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Trabajos presentados en el Symposium S, "Microelectromechanical Systems--Materials and Devices IV," celebrado en 2010 MRS Fall Meeting en Boston, Mass.
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