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Microlithography : science and technology / edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith.
Tipo de material:
TextoSeries Optical science and engineering ; 126Editor: Boca Ratón, Florida : CRC Press, c2007Edición: 2nd edDescripción: 848 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9780824790240 (papel alcalino); 0824790243 (papel alcalino)Tema(s): Microlitografía -- Aplicaciones industriales | Circuitos integrados -- Máscaras | Semiconductores complementarios de óxido metálico -- Diseño y construcción | Procesos de manufacturaClasificación CDD: 621.3815/31 Clasificación LoC:TK7836 | M534 2007
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | General | TK7836 M534 2007 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 194431 |
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