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		Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / T. Makabe, Z. Petroviâc por Makabe, Toshiaki [autor] \| Petroviâc, Z [autor]. Series Series in plasma physicsTipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: New York : Taylor & Francis, 2006Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TA2020 M35 2006. Agregar al carrito (remover)
		Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic por Makabe, Toshiaki [autor] \| Petrović, Z [autor]. Edición: Second editionTipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Editor: Boca Raton : CRC Press, 2015Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (4)Clasificación: TA2020 M35 2015, ... Agregar al carrito (remover)
		Plasma engineering / Michael Keidar, Isak I. Beilis por Keidar, Michael [autor] \| Beilis, Isak I [autor]. Edición: Second editionTipo de material: Texto; Forma literaria: No es ficción Editor: London, United Kingdom : Academic Press is an imprint of Elsevier, [2018]Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Libros (1)Clasificación: TA2020 K45 2018. Agregar al carrito (remover)