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| 020 | _a0849308267 (papel alcalino) | ||
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_aDLC _cDLC _dC#P _dPGC |
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| 041 | _aENG | ||
| 050 | 0 | 0 |
_aTK7836 _bM33 2002 |
| 082 | 0 | 0 |
_a621.3815/2 _221 |
| 100 | 1 |
_aMadou, Marc J., _eautor |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aFundamentals of microfabrication : _bthe science of miniaturization / _cMarc J. Madou |
| 250 | _a2nd ed. | ||
| 264 | 1 |
_aBoca Raton : _bCRC Press, _cc2002 |
|
| 300 |
_a723 páginas, [16] páginas de láminas : _bhojas (algunas a color) |
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| 650 | 0 | _aMicroelectrónica | |
| 650 | 0 |
_aCircuitos integrados _xDiseño y construcción |
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| 650 | 0 |
_aSistemas microelectromecánicos _xDiseño y construcción |
|
| 650 | 0 | _aMecanizado | |
| 650 | 0 | _aEncapsulado microelectrónico | |
| 650 | 0 |
_aLáseres _xAplicaciones industriales |
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| 336 |
_atexto _2rdacontent |
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| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 999 |
_c13971 _d13971 |
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