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| 040 |
_aUNAMX _bspa _cUNAMX _dUNAMX |
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| 050 | 4 |
_aQC718.5D9 _bL54 2005 |
|
| 100 | 1 |
_aLieberman, Michael A., _eautor |
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| 245 | 1 | 0 |
_aPrinciples of plasma discharges and materials processing / _cMichael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg |
| 250 | _a2nd ed. | ||
| 264 | 1 |
_aNew York : _bJ. Wiley, _c2005 |
|
| 300 | _a757 páginas | ||
| 650 | 4 | _aDinámica del plasma | |
| 650 | 4 |
_aPeliculas delgadas _xSuperficies |
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| 650 | 4 | _aAtaque por plasma | |
| 700 | 1 |
_aLichtenberg, Allan J. _eautor |
|
| 336 |
_atexto _2rdacontent |
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| 337 |
_asin medio _2rdamedia |
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| 338 |
_avolumen _2rdacarrier |
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| 999 |
_c17373 _d17373 |
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