000 01014nam a2200265zi 4500
005 20220221131641.0
008 080822s2007 si a 000 0 eng
020 _a9789812709608 (encuadernado)
020 _a9812709606 (encuadernado)
035 _aMX001001152009
040 _aDLC
_bspa
_cDLC
_dDLC
_dUNAMX
050 0 _aTK7875
_bI57
082 0 0 _a621
_222
111 2 _aInternational Conference on Materials for Advanced Technologies
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_bilustraciones +
_e1 disco óptico láser para computadora (4 3/4 plg.)
650 0 _aSistemas microelectromecánicos
_vCongresos
650 0 _aMateriales nanoestructurados
_vCongresos
700 1 _aLiu, Aiqun,
_eeditor
336 _atexto
_2rdacontent
337 _asin medio
_2rdamedia
338 _avolumen
_2rdacarrier
999 _c19370
_d19370