000 00693nam a2200205 a 4500
008 230217s2021^^^^xxua^^^^^^^^^^000^0^eng^d
020 _a9781682517857
035 _aMX001002186657
040 _aUNAMX
_bspa
_erda
_cUNAMX
050 4 _aTA418.9N35
_bP526
245 0 0 _aPlasma nanoengineering and nanofabrication /
_ceditor: Shigeru E. Gordon
264 1 _aNew Rochelle, New York :
_bIntelliz Press,
_c2021
300 _axvi, 309 páginas :
_bilustraciones
336 _atexto
_2rdacontent
337 _asin medio
_2rdamedia
338 _avolumen
_2rdacarrier
650 4 _aNanofabricación
650 4 _aMateriales nanoestructurados
700 1 _aGordon, Shigeru E.,
_eeditor
999 _c52151
_d52151