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_bA76
245 0 0 _aAtomic layer epitaxy /
_cEd. by t. suntola and m. Simpson
264 1 _aGlasgow :
_bBlackie,
_c1990
300 _a182 páginas
650 _aPelículas delgadas en multicapa
_xTécnica
650 _aEpitaxia
650 _aEstructuras en capas (Sólidos)
650 _aQuímica de superficies
700 _aSuntola, T.
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